Gaz halindeki bir maddeye yüksek enerji gönderilerek iyonlaşma oluşturulmaktadır. İyonlaşma sonucu radikaller,elektronlar, negatif ve pozitif yüklü parçacıklardan meydana gelen bu yapıya plazma adı verilmektedir.Plazmanın bu yapısal farklılığı sayesinde yüksek verimli ürünler, enerji tasarrufu yüksek,temiz uygulamalar sağlayan ürün portföylerinin oluşmasını sağlamaktadır.
Plazma oluşumu için bir yüksek enerji kaynağı, plazma oluşum gazı ve elektrot gibi bazı komponentler gereklidir. Her komponent, oluşan plazmanın özellikleri üzerinde etkilidir. Parçaların değiştirilmesi ile plazma karakterizasyonu da değişmektedir, bu değişimin avantajı kullanım alanının genişletilebilmesi ve yeni teknoloji ürünlerin oluşumunu desteklemesidir.